北京富创精密半导体有限公司张健获国家专利权
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龙图腾网获悉北京富创精密半导体有限公司申请的专利一种半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223491575U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423052312.5，技术领域涉及：B08B3/12；该实用新型一种半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备是由张健;张少杰;徐宏岩设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体行业精密清洗技术领域，具体是一种半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备，包括净水系统、第一清洗槽、第二清洗槽和排水管，净水系统包括水质提纯器、泵和加热系统，水质提纯器、泵和加热系统依次设置在洁净水管路上，水质提纯器与进水管连接，连接在洁净水管路给第一清洗槽供水，在第一清洗槽与第二清洗槽之间设置有溢流阀。该半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备通过在线净化提纯、双槽清洗、智能化监控与管理等技术手段，有效解决了现有技术中水质电阻率不稳定、清洗质量难以保证等问题，对于提高半导体零部件的清洗质量和生产效率具有重要意义。
本实用新型一种半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体零件超纯去离子水自净化提纯精密清洗设备，其特征在于，包括净水系统、第一清洗槽1、第二清洗槽2和排水管8，净水系统包括水质提纯器4、泵5和加热系统7，水质提纯器4、泵5和加热系统7依次设置在洁净水管路6上，水质提纯器4与进水管3连接，连接在洁净水管路6给第一清洗槽1供水，在第一清洗槽1与第二清洗槽2之间设置有溢流阀9。
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