合肥晶合集成电路股份有限公司陈龙获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利吸盘清洁装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223491579U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422635985.7，技术领域涉及：B08B5/02；该实用新型吸盘清洁装置是由陈龙;黄志平;夏宇;田阔设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸盘清洁装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种吸盘清洁装置。吸盘清洁装置包括：进气通道，进气通道用于接入清洁气体；超声波发生器，超声波发生器的第一端连接进气通道；出气通道，连接超声波发生器的第二端，出气通道具有面向吸盘的出气口；控制器，至少连接超声波发生器。本申请通过设置超声波发生器连接进气通道与出气通道，从而使得清洁气体获得高频振动。振动的清洁气体引起环境气体分子的振动和相互碰撞，形成压力梯度。进而，振动的清洁气体与吸盘表面的颗粒物接触，使得颗粒物收到受到不同方向的压力作用，这种压力差异会导致颗粒物产生振动或移动，从而降低颗粒物与吸盘表面之间的粘附力，使得颗粒物更轻易地与吸盘表面分离。
本实用新型吸盘清洁装置在权利要求书中公布了：1.一种吸盘清洁装置，其特征在于，包括： 进气通道，所述进气通道具有进气口，所述进气口用于接入清洁气体； 超声波发生器，所述超声波发生器的第一端连接所述进气通道； 出气通道，连接所述超声波发生器的第二端，所述出气通道具有面向吸盘的出气口； 控制器，至少连接所述超声波发生器。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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