合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司龚胜获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司申请的专利一种晶圆减薄可调式承载平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223492867U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423058663.7,技术领域涉及:B24B19/22;该实用新型一种晶圆减薄可调式承载平台是由龚胜;杨宏亮;胡天;陈逢军设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆减薄可调式承载平台在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工平台技术领域,公开了一种晶圆减薄可调式承载平台,包括承载台基座,所述承载台基座的三个角通过三点定位的方式固定安装在床身支架上,所述承载台基座上的一个定位点通过固定紧固件与床身支架固定连接,所述承载台基座上的另外两个定位点通过可调平组件与所述床身支架固定连接,所述可调平组件包括中间螺柱与配合件,所述中间螺柱贯穿所述配合件且与所述床身支架螺纹连接,所述配合件与中间螺柱螺纹连接。本实用新型,通过拧转调节螺母与中间螺柱的配合,能够方便快捷地实现对于承载台基座的平面度调整,有效缩短调平时间,减少停机时间,提高加工生产效率。
本实用新型一种晶圆减薄可调式承载平台在权利要求书中公布了:1.一种晶圆减薄可调式承载平台,包括承载台基座,其特征在于:所述承载台基座的三个角通过三点定位的方式固定安装在床身支架上,所述承载台基座上的一个定位点通过固定紧固件与床身支架固定连接,所述承载台基座上的另外两个定位点通过可调平组件与所述床身支架固定连接,所述可调平组件包括中间螺柱与配合件,所述中间螺柱贯穿所述配合件且与所述床身支架螺纹连接,所述配合件与中间螺柱螺纹连接,通过旋拧所述配合件使承载台基座沿着所述中间螺柱在竖直方向上移动。
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