合肥晶合集成电路股份有限公司廖帆伟获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利研磨液供应系统及研磨设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223492977U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423027199.5,技术领域涉及:B24B57/02;该实用新型研磨液供应系统及研磨设备是由廖帆伟;徐伟伦设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本研磨液供应系统及研磨设备在说明书摘要公布了:本公开涉及一种研磨液供应系统及研磨设备。该研磨液供应系统包括:研磨液喷洒臂、第一供应管路、切换模组、第二供应管路、回流管路。研磨液喷洒臂内设有第一供应管路。切换模组位于研磨液喷洒臂的下方,并与第一供应管路连通。第二供应管路和回流管路分别与切换模组连通。其中,切换模组用于在第一工作状态下连通第一供应管路和第二供应管路,在第二工作状态下连通第二供应管路和回流管路。本公开能够有效解决研磨液结晶及堵塞问题,有利于提升产品良率。
本实用新型研磨液供应系统及研磨设备在权利要求书中公布了:1.一种研磨液供应系统,其特征在于,包括: 研磨液喷洒臂,所述研磨液喷洒臂内设有第一供应管路; 切换模组,位于所述研磨液喷洒臂的下方,与所述第一供应管路连通; 第二供应管路和回流管路,分别与所述切换模组连通; 其中,所述切换模组用于在第一工作状态下连通所述第一供应管路和所述第二供应管路,在第二工作状态下连通所述第二供应管路和所述回流管路。
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