山东华楷微电子装备有限公司张雪奎获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华楷微电子装备有限公司申请的专利一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501294U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423148258.4，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置是由张雪奎;徐金鑫;梁志鹏;刘增增;张少帆设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置，晶圆定位支托装置包括固定在机架的平台上、结构相同且相对设置的第一定位支托组件和第二定位支托组件，第一定位支托组件包括固定在平台上的第一固定底板，第一固定底板上滑动安装有第一晶圆托架，第一晶圆托架和第二定位支托组件的第二晶圆托架的滑动方向相同且相对设置，第一固定底板上还滑动安装有第一定位架，第一定位架位于第一晶圆托架的上方且滑动方向与第一晶圆托架相同，第一定位架与第二定位架共同配合对晶圆进行定位，该晶圆定位支托装置能够在对晶圆支托的同时对晶圆进行定位，方便下方的真空吸盘的吸附，确保滴胶位置的准确。
本实用新型一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置在权利要求书中公布了：1.一种匀胶显影机的晶圆定位支托装置，所述晶圆定位支托装置固定在机架上，其特征在于：所述晶圆定位支托装置包括固定在机架的平台上的第一定位支托组件和第二定位支托组件，所述第一定位支托组件和第二定位支托组件结构相同且相对设置，所述第一定位支托组件包括固定在所述平台上的第一固定底板，所述第一固定底板上滑动安装有第一晶圆托架，所述第一晶圆托架由第一直线动力装置驱动，所述第一晶圆托架和第二定位支托组件的第二晶圆托架的滑动方向相同且相对设置，所述第一固定底板上还滑动安装有第一定位架，所述第一定位架由第一定位滑动装置驱动，所述第一定位架位于第一晶圆托架的上方且滑动方向与所述第一晶圆托架相同，所述第一定位架与第二定位支托组件的第二定位架共同配合对晶圆进行定位。
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