山东华楷微电子装备有限公司张雪奎获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华楷微电子装备有限公司申请的专利一种晶圆偏转加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423183564.1，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种晶圆偏转加热装置是由张雪奎;梁志鹏;刘增增;张少帆;徐金鑫设计研发完成，并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆偏转加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆偏转加热装置，包括外壳体，外壳体设置有安装内腔，安装内腔内转动安装有由正反偏转动力装置驱动的均热板，安装内腔内竖直滑动安装有晶圆托架，所述晶圆托架由固定在所述外壳体上的升降动力装置驱动，所述晶圆托架上设置有位于均热板外部的支撑环，所述支撑环的直径大于所述均热板的直径，所述支撑环的上端设置有支撑所述晶圆边缘的支撑结构，该晶圆偏转加热装置通过偏转均热板来改变与晶圆接触的部位，从而使均热板加热更均匀。
本实用新型一种晶圆偏转加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆偏转加热装置，包括外壳体，其特征在于：所述外壳体设置有安装内腔，所述安装内腔内转动安装有由正反偏转动力装置驱动的均热板，所述安装内腔内竖直滑动安装有晶圆托架，所述晶圆托架由固定在所述外壳体上的升降动力装置驱动，所述晶圆托架上设置有位于均热板外部的支撑环，所述支撑环的直径大于所述均热板的直径，所述支撑环的上端设置有支撑晶圆边缘的支撑结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东华楷微电子装备有限公司，其通讯地址为：276800 山东省日照市日照高新区高新六路17号日照智慧微电产业园(高新六路与艳阳路交汇处)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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