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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种供液系统及半导体湿法制程设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223501816U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422640859.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种供液系统及半导体湿法制程设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种供液系统及半导体湿法制程设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种供液系统，供液系统用于向半导体湿法制程设备供应处理液，包括：储存罐体，储存罐体内设有若干个送液液位传感器，多个送液液位传感器沿储存罐体的内壁的长度方向间隔布置，一个送液液位传感器对应一个预设液位高度；进液管路，进液管路与储存罐体连接，进液管路用于将原料罐内的处理液输送入储存罐体；送液管路，送液管路与储存罐体连接，送液管路用于从储存罐体内抽取预设容积处理液并输送入处理单元；控制模块，用于控制进液管路和送液管路动作，其中，相邻两个送液液位传感器所在水平面之间处理液的体积等于预设容积。本申请的供液系统通过液位传感器检测送液管路输送处理液的体积，从而实现处理液的精准输送。

本实用新型一种供液系统及半导体湿法制程设备在权利要求书中公布了：1.一种供液系统，所述供液系统用于向半导体湿法制程设备供应处理液，其特征在于，包括： 储存罐体，所述储存罐体内设有若干个送液液位传感器，多个所述送液液位传感器沿所述储存罐体的内壁的长度方向间隔布置，一个所述送液液位传感器对应一个预设液位高度； 进液管路，所述进液管路与所述储存罐体连接，所述进液管路用于将原料罐内的处理液输送入储存罐体； 送液管路，所述送液管路与所述储存罐体连接，所述送液管路用于从储存罐体内抽取预设容积处理液并输送入处理单元； 控制模块，用于控制所述进液管路和所述送液管路动作； 其中，相邻两个所述送液液位传感器所在水平面之间处理液的体积等于所述预设容积； 所述进液管路设有若干支路，每一所述支路的末端均设有第一流量计和控制阀； 所述储存罐体内设置有低液位传感器和高液位传感器； 所述供液系统还包括报警单元，当所述低液位传感器检测到的液位高度低于预设最低液位值和或所述高液位传感器检测到的液位高度高于预设最高液位值时，所述报警单元发出警报； 所述储存罐体内设有高度调节机构，通过所述高度调节机构调节所述送液液位传感器的高度，改变相邻两个所述送液液位传感器所在水平面之间处理液的体积。

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