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龙图腾网获悉深圳市拉普拉斯能源技术有限公司申请的专利一种新型硼扩散湿氧工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114678265B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210044301.9，技术领域涉及：H01L21/225；该发明授权一种新型硼扩散湿氧工艺是由林佳继;祁文杰;刘群;梁笑;毛文龙;范伟设计研发完成，并于2022-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种新型硼扩散湿氧工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了一种新型硼扩散湿氧工艺，本发明采用H2+O2进行湿法氧化工艺，两者在一定的压力和温度下生成水蒸气，水蒸气可以溶解管壁上的B2O3，再通过尾排泵的抽空系统排出管外，多余的水蒸气会经过尾排管路，同样对尾排管路和泵中残余的B2O3进行清理，进一步延长了设备的维护时间。

本发明授权一种新型硼扩散湿氧工艺在权利要求书中公布了：1.一种新型硼扩散湿氧工艺，其特征是，包括以下步骤： 1将载有硅片的舟送入炉管中； 2抽真空，检漏； 3升温至800-810℃，通入N2，炉管压力为150-180mbar； 4在800-810℃下，通入N2，O2，进行氧化； 5升温至800-810℃后，通入N2、O2、硼源，炉管压力为150-180mbar； 6升温至830-840℃后，通入N2、O2、硼源，炉管压力为150-180mbar； 7升温至850-860℃后，通入N2、O2、硼源，炉管压力为150-180mbar； 8升温至950-960℃，升温过程中通入N2，炉管压力为400-450mbar； 9950-960℃恒温推进，用时20-23min，推进过程中通入N2，炉管压力为400-450mbar； 10升温到1040～1050℃，升温过程中通入N2、O2，炉管压力为600-650mbar； 11在1040-1050℃下进行氧化20-22min，氧化过程中通入N2，O2，炉管压力为600-650mbar； 12在1040-1050℃下进行氧化40-42min，氧化过程中通入H2，O2，炉管压力为250-300mbar； 13从1040-1050℃降温至800℃，降温过程中通入氮气，氧气，压力600-650mbar； 14破真空至常压； 15出舟。

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