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中国科学院理化技术研究所金峰获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院理化技术研究所申请的专利一种双重响应的光刻胶组合物及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114755887B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210268813.3,技术领域涉及:G03F7/027;该发明授权一种双重响应的光刻胶组合物及其应用是由金峰;王健羽;郑美玲;董贤子设计研发完成,并于2022-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

一种双重响应的光刻胶组合物及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开一种双重响应的光刻胶组合物及其应用。本发明公开的光刻胶组合物包含功能单体、聚合物以及光引发剂。该组合物中的功能单体、聚合物和光引发剂在飞秒激光的照射下发生聚合反应,将功能单体结合到聚合物链中,从而实现对pH和温度双重刺激的智能响应,同时具有较低的飞秒激光直写阈值,飞秒激光直写速度快。选用的光刻胶组合物多为烯烃类物质,原料易得、容易合成,简化了智能材料的获取流程。

本发明授权一种双重响应的光刻胶组合物及其应用在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶组合物在制备双重响应的微结构方面的应用,其特征在于,所述光刻胶组合物包括功能单体、光引发剂和聚合物; 所述功能单体选自聚乙二醇二丙烯酸酯、甲基丙烯酸二甲氨基乙酯; 所述光引发剂选自2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、2,4,6三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦; 所述聚合物选自季戊四醇三丙烯酸酯; 制备微结构的具体步骤为: 1在黄光暗室内将功能单体、光引发剂和聚合物按比例混合于棕色玻璃容器中,搅拌后得光刻胶组合物; 2取光刻胶组合物滴加在衬底上,使用飞秒激光对光刻胶组合物进行照射; 3将照射后的光刻胶组合物在显影液中进行显影,得到双重响应的微结构; 激光移动路径由连续坐标组成,通过调节连续坐标的疏密程度,制备具有不对称交联密度的微臂结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院理化技术研究所,其通讯地址为:100190 北京市海淀区中关村东路29号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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