电子科技大学长三角研究院(湖州)刘富才获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学长三角研究院(湖州)申请的专利一种层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115206992B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210827239.0,技术领域涉及:H10B51/30;该发明授权一种层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元及其制备方法是由刘富才;卞仁吉;蒙鹏设计研发完成,并于2022-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元及其制备方法,包括由下至上堆叠设置的支撑衬底、背栅电极、背栅介质层、源极电极、范德华铁电隧穿层、漏极电极、顶栅介质层和顶栅电极,范德华铁电隧穿层由范德华铁电材料制备得到,源极电极、漏极电极分别与范德华铁电隧穿层上下两端连接并形成洁净的原子级范德华界面接触。本发明提供的层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元,以范德华滑移铁电材料为隧穿层的铁电隧穿结,实现由层数滑移调控界面势垒实现单个存储单元的多值擦写。
本发明授权一种层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种层数依赖型铁电隧穿结多值存储单元,其特征在于,包括由下至上堆叠设置的支撑衬底、背栅电极、背栅介质层、源极电极、范德华铁电隧穿层、漏极电极、顶栅介质层和顶栅电极,所述范德华铁电隧穿层由范德华铁电材料制备得到,所述源极电极、漏极电极分别与所述范德华铁电隧穿层上下两端连接并形成原子级范德华界面接触; 所述范德华铁电材料为非对称性结构的层状化合物,由机械剥离或者化学气相沉积制备得到;所述范德华铁电隧穿层的层数不低于2层,所述范德华铁电隧穿层的总厚度不低于1nm;所述顶栅介质层的厚度为5-15nm。
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