英利能源发展有限公司;英利能源(中国)有限公司马红娜获国家专利权
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龙图腾网获悉英利能源发展有限公司;英利能源(中国)有限公司申请的专利一种隧穿氧化钝化层的制备方法、TOPCOn电池及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116093205B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310130113.2，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种隧穿氧化钝化层的制备方法、TOPCOn电池及制备方法是由马红娜;史金超;张文辉;王平;孟庆超;王子谦;赵学玲;翟金叶;郎芳;潘明翠;王红芳;赵亮设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种隧穿氧化钝化层的制备方法、TOPCOn电池及制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体公开一种隧穿氧化钝化层的制备方法、TOPCOn电池及制备方法。所述方法包括如下步骤：S1、提供硅衬底，将所述硅衬底置于工艺腔室内；S2、向所述工艺腔室内通入第一氧化气体，通过PECVD在硅衬底表面制得隧穿氧化层；S3、向所述工艺腔室内通入硅烷，在所述隧穿氧化层上沉积非晶硅层，制得隧穿氧化钝化层；S4、向所述工艺腔室内依次通入第二氧化气体和含氟气体，降温，完成隧穿氧化钝化层的制备。本发明创造性地将石墨舟清洗步骤与镀膜工艺结合，通过严格控制气体流量，有效避免陶瓷管沉积多晶硅后石墨片正负极提前导通的情况发生，提高了石墨舟的使用稳定性，同时大大缩短了工艺流程时间。
本发明授权一种隧穿氧化钝化层的制备方法、TOPCOn电池及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种隧穿氧化钝化层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、提供硅衬底，将所述硅衬底置于工艺腔室内； S2、向所述工艺腔室内通入第一氧化气体，通过PECVD在硅衬底表面制得隧穿氧化层； S3、向所述工艺腔室内通入硅烷，在所述隧穿氧化层上沉积非晶硅层，制得隧穿氧化钝化层； S4、在制得所述隧穿氧化钝化层后先不取出制品，向所述工艺腔室内通入第二氧化气体，将陶瓷管表面附着的非晶硅氧化为不导电的二氧化硅，再通入含氟气体形成等离子体，对所述二氧化硅进行刻蚀，清除所述陶瓷管上的沉积薄膜；降温，完成隧穿氧化钝化层的制备；其中，所述第二氧化气体的流量为600sccm~1200sccm，所述含氟气体的流量为500sccm~1000sccm，保证充分清除所述陶瓷管上的沉积薄膜，且避免对所述隧穿氧化钝化层造成影响。
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