云南通威高纯晶硅有限公司靳磊获国家专利权
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龙图腾网获悉云南通威高纯晶硅有限公司申请的专利一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116257004B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310049111.0,技术领域涉及:G05B19/042;该发明授权一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法是由靳磊;彭中;杨强;秦燕;杜炳胜;汪云清;闫永琪;江庆云;刘真设计研发完成,并于2023-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法,属于多晶硅还原炉控制领域,控制系统包括与还原炉配合的控制装置,控制装置包括控制面板和与控制面板电性连接的电压检测模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块和执行模块;控制方法包括将还原炉自动控制过程根据反应时间划分为若干个阶段,每个阶段的控制策略可单独设置或调整;针对每个阶段实施电压自动控制、尾气温度自动控制和尾气温度最高限制控制。本发明可提高还原炉的自动化控制率,确保多晶硅还原炉生产运行平稳性和指标数据的可复制性、重现性。
本发明授权一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统及控制方法在权利要求书中公布了:1.一种多晶硅还原炉全自动智能控制系统,其特征在于,包括: 与还原炉配合的控制装置,所述控制装置包括控制面板和与控制面板电性连接的电压检测模块、尾气温度检测模块、逻辑处理模块和执行模块; 控制面板至少用于设置重要工艺控制参数和展示还原炉当前运行情况;电压检测模块用于检测还原炉内的电压参数,当测得的电压参数与标准参照电压值出现偏差时,执行模块按照设定的调控策略调整氢气进气量; 尾气温度检测模块用于检测还原炉内的尾气温度参数,当测得的尾气温度发生波动时,执行模块按照设定的调控策略调整氢气和氯硅烷的进气量; 控制面板包括电压自动控制板块,在电压自动控制板块可以设定和调整的参数包括: 反应阶段的时间段以及每个反应阶段对应的电压偏差范围、电压偏差值的可忽略范围、不同电压偏差范围所对应的氢气调整量以及单次氢气调整量的高低限值; 控制面板包括尾气温度自动控制板块,针对各个反应阶段可以设置和调整的变化量包括: 尾气温度的变化时间:表示检测尾气温度变化趋势的时间区间; 尾气温度在变化时间内的波幅:用于与变化时间相结合,作为触发氢气调整的判断依据; 尾气温度的判断时间:表示每次氢气调整后尾气温度波动幅度的截取时间段; 尾气温度在判断时间内的回调量:表示每次氢气调整后尾气温度的变化量,用于与判断时间结合,作为判断尾气温度是否可控的依据; 尾气温度达到波幅触发的氢气调整量和氢气调整量的高低限值; 以及触发氯硅烷调整的尾气温度波幅、单次氯硅烷调整量和氯硅烷累计可减的低限值。
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