环球晶圆股份有限公司梁修启获国家专利权
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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利晶锭评估方法及检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116337889B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211271152.6，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权晶锭评估方法及检测装置是由梁修启设计研发完成，并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶锭评估方法及检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶锭评估方法及检测装置。从晶碇取得晶圆的缺陷信息。这缺陷信息包括通过光学检测所辨识的一个或更多个缺陷的位置。根据缺陷信息确定这些缺陷的重心位置。根据重心位置评估这些缺陷的均匀度。这均匀度相关于晶圆经加工制程后的质量。由此，可提升生产良率及质量。
本发明授权晶锭评估方法及检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶锭评估方法适用于评估晶圆，其特征在于，所述晶锭评估方法包括： 从晶碇取得晶圆的缺陷信息，其中所述缺陷信息包括通过光学检测所辨识的至少一缺陷的位置； 根据所述缺陷信息确定所述缺陷的重心位置； 根据所述重心位置评估所述缺陷的均匀度，其中所述均匀度相关于所述晶圆经加工制程后的质量；以及 根据所述晶圆经所述加工制程后所预计的弯曲程度确定分类范围的边界相距于所述晶圆的中心的距离， 其中所述均匀度的指标包括至少一评估值，且根据所述重心位置评估所述缺陷的所述均匀度的步骤包括： 确定所述重心位置所在的所述分类范围，其中每一所述评估值对应于一个所述分类范围，且所述分类范围的中心相同于所述晶圆的所述中心；以及 根据所述分类范围确定所述缺陷的评估值。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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