买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉安徽富乐德科技发展股份有限公司申请的专利一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117181694B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310633952.6，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方是由阮安俊;贺贤汉;张继月;高敏刚设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方在说明书摘要公布了：本发明公开了一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方，涉及到半导体设备清洗技术领域，包括安装在支撑底座上的纯水罐、药水罐和清洗罐：还包括动力件，用于分别单独将会所述纯水罐和所述药水罐内的药水和纯水注入所述清洗罐中并带动所述清洗罐内的液体进行快速上下往返流动，以实现对清洗部件进行连续冲刷。本装置可对部件进行快速地来回冲刷，大大缩短了来回冲刷间隔时间，使得顽固杂质快速脱落，同时也大大缩短了药水清洗时间，且本动力件可分别对纯水罐内的纯水和药水罐中的药水进行部件的冲刷操作，无需安装多个驱动电机、动力缸以及其相关部件，可减小成本。

本发明授权一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方在权利要求书中公布了：1.一种Faceplate部件清洗装置，包括安装在支撑底座1上的纯水罐2、药水罐10和清洗罐6，所述纯水罐2和所述药水罐10上均设有注液管3和输液管4，两个所述输液管4上均设有带有阀门的排液管7，两个所述输液管4的出液端均通过换向件5与所述清洗罐6底部的进液管连接，其特征在于：还包括动力件9，用于分别单独将所述纯水罐2和所述药水罐10内的纯水和药水注入所述清洗罐6中并带动所述清洗罐6内的液体进行快速上下往返流动，以实现对Faceplate部件进行连续来回冲刷，所述Faceplate部件是一种碟状的半导体设备部件，用于半导体CVD制程； 所述动力件9包括安装在所述支撑底座1上的动力缸91和将所述药水罐10与所述纯水罐2内腔相连且安装有阀门的硬管97，且所述动力缸91的伸缩端穿过所述药水罐10上端开口并与驱动电机92固定连接，所述驱动电机92的输出轴上固定有旋转筒94，且所述旋转筒94的空心腔内壁上倾斜设置有环形槽99，所述旋转筒94的下方设置有外壁设置密封环的活塞板93，且所述活塞板93上端轴心处安装有L形运动杆98，且所述L形运动杆98的端部滑动设置在所述环形槽99内，所述活塞板93上安装有限位柱96，且所述限位柱96贯穿限位板95，所述限位板95的上端固定套设在所述动力缸91的伸缩端上，所述限位板95的下端通过轴承与所述驱动电机92的输出轴转动连接，所述硬管97的一端贯穿所述药水罐10并通过软管910与密封贯穿所述活塞板93的通气管911连接； 所述清洗罐6上端为开口，并通过密封盖8密封，且所述密封盖8上端通孔中安装有防水透气件12，用于防止清洗罐6内部液体溢出并使得其内部气压与外界一致； 所述活塞板93与所述药水罐10内液面上端之间设有挤压空隙。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽富乐德科技发展股份有限公司，其通讯地址为：244000 安徽省铜陵市金桥经济开发区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。