成都能斯特新材料科技有限公司张尚涛获国家专利权
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龙图腾网获悉成都能斯特新材料科技有限公司申请的专利汽车排气温度传感器用铂薄膜、制备方法、温度传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120291015B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510463381.5,技术领域涉及:C23C14/04;该发明授权汽车排气温度传感器用铂薄膜、制备方法、温度传感器是由张尚涛;潘柏廷;雷运清;彭琛;张强设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本汽车排气温度传感器用铂薄膜、制备方法、温度传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了汽车排气温度传感器用铂薄膜、制备方法、温度传感器,制备方法为在陶瓷基片上溅射过渡层,再通过掩膜版选区溅射铂薄膜,然后进行三次热处理,即得到铂薄膜;所述过渡层选用钨、钼、铼中一种或多种。本发明得到的铂薄膜致密均匀,杂质和缺陷可控,电阻温度系数可达3850ppm℃,铂薄膜的晶粒尺寸可达20um,选区溅射的铂薄膜电路精度较高,可以用于铂薄膜电阻温度传感器。
本发明授权汽车排气温度传感器用铂薄膜、制备方法、温度传感器在权利要求书中公布了:1.一种汽车排气温度传感器用铂薄膜的制备方法,其特征在于,在陶瓷基片上溅射过渡层,再通过掩膜版选区溅射铂薄膜,然后进行三次热处理,即得到铂薄膜; 所述过渡层选用钨、钼、铼中一种或多种; 第一步热处理温度为400-500℃,第二步热处理温度为800-900℃,第三步热处理温度为1000-1300℃; 第一步热处理的升温速率为1-5℃min。
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