珠海诚锋电子科技有限公司焦超获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海诚锋电子科技有限公司申请的专利基于自适应实例感知损失的晶圆缺陷分割方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120747516B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511204426.3,技术领域涉及:G06V10/26;该发明授权基于自适应实例感知损失的晶圆缺陷分割方法及系统是由焦超;蓝剑飞;张腾设计研发完成,并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于自适应实例感知损失的晶圆缺陷分割方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了基于自适应实例感知损失的晶圆缺陷分割方法及系统,涉及晶圆缺陷识别技术领域,UNet分割模型输出与对应标签计算出交叉熵损失,获取交叉熵损失图,根据每个交叉熵损失图对应的标签,使用开源计算机视觉库获取每个标签中的标注实例轮廓,保留像素损失大于等于损失阈值的像素损失,并计算所有保留像素损失的平均值,获取交叉熵损失图对应的感知损失,对N个交叉熵损失图的感知损失求均值,完成自适应实例感知损失函数的构建。该分割方法通过引入基于实例的感知损失机制,克服了传统损失函数无法区分难易样本、对缺陷边缘关注不足、分割精度不高的问题,提升了晶圆缺陷分割的精度与适应性。
本发明授权基于自适应实例感知损失的晶圆缺陷分割方法及系统在权利要求书中公布了:1.基于自适应实例感知损失的晶圆缺陷分割方法,其特征在于:所述分割方法包括以下步骤: S1:通过UNet分割模型输出与对应标签计算出交叉熵损失,获取交叉熵损失图; S2:根据每个交叉熵损失图对应的标签,使用开源计算机视觉库获取每个标签中的标注实例轮廓; S3:基于每个标注实例轮廓,获取每个标注实例的最小外接矩形,并将每个标注实例的最小外接矩形向四边进行若干像素的扩展,得到扩展后的外接矩形; S4:在交叉熵损失图上,计算每个标注实例扩展后的外接矩形内平均损失,选择最大平均损失作为损失阈值; S5:保留像素损失大于等于损失阈值的像素损失,并计算所有保留像素损失的平均值,获取交叉熵损失图对应的感知损失,对N个交叉熵损失图的感知损失求均值,完成自适应实例感知损失函数的构建; S6:采用自适应实例感知损失函数对UNet分割模型进行训练,通过训练完成的UNet分割模型分割待处理图像的晶圆缺陷。
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