长江存储科技有限责任公司曾卓获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利用于聚焦离子束系统的光阑结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223513904U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422031491.8,技术领域涉及:H01J37/21;该实用新型用于聚焦离子束系统的光阑结构是由曾卓;郭伟设计研发完成,并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于聚焦离子束系统的光阑结构在说明书摘要公布了:本公开实施例提供了一种用于聚焦离子束系统的光阑结构,其中,所述光阑结构包括:光阑基体;N排光阑孔;所述光阑孔贯穿所述光阑基体;N为整数,且N>2;每排所述光阑孔包括沿第一方向排布的多个光阑孔;N排所述光阑孔沿第二方向依次排布;所述第二方向与所述第一方向相交;其中,所述N排光阑孔中光阑孔的数量为M个,M>15。
本实用新型用于聚焦离子束系统的光阑结构在权利要求书中公布了:1.一种用于聚焦离子束系统的光阑结构,其特征在于,所述光阑结构包括: 光阑基体; N排光阑孔;所述光阑孔贯穿所述光阑基体;N为整数,且N>2;每排所述光阑孔包括沿第一方向排布的多个光阑孔;N排所述光阑孔沿第二方向依次排布;所述第二方向与所述第一方向相交; 其中,所述N排光阑孔中光阑孔的数量为M个,M>15。
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