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昆山英博尔电子科技有限公司秦东魁获国家专利权

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龙图腾网获悉昆山英博尔电子科技有限公司申请的专利一种晶圆烘烤料盒获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223513916U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422909436.4,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆烘烤料盒是由秦东魁;杨礼阳设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆烘烤料盒在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆烘烤料盒,包括框架和摆料盘,所述框架的内部中空且前后侧敞口,所述框架的两侧内壁上沿其高度方向对应设置有左右相对的若干组水平承载架,相邻的上下两个水平承载架之间具有间距;所述摆料盘的表面形成有用于放置晶圆的仿形槽,所述摆料盘能够活动地置于框架内,并且摆料盘的两侧端分别能够搁置在一对水平承载架上;所述框架的两侧前部均设置有可向内转动的挡轴,所述挡轴可上下活动,并且框架的顶部设置有用于限制挡轴转动的限位槽。本实用新型结构紧凑,实用性强,可实现对批量晶圆的烘烤工作,烘烤效果更加均匀,还能对晶圆进行防护作用。

本实用新型一种晶圆烘烤料盒在权利要求书中公布了:1.一种晶圆烘烤料盒,其特征在于,包括框架1和摆料盘2,所述框架1的内部中空且前后侧敞口,所述框架1的两侧内壁上沿其高度方向对应设置有左右相对的若干组水平承载架3,相邻的上下两个水平承载架3之间具有间距;所述摆料盘2的表面形成有用于放置晶圆的仿形槽21,所述摆料盘2能够活动地置于框架1内,并且摆料盘2的两侧端分别能够搁置在一对水平承载架3上;所述框架1的两侧前部均设置有可向内转动的挡轴4,所述挡轴4可上下活动,并且框架1的顶部设置有用于限制挡轴4转动的限位槽111。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人昆山英博尔电子科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市昆山市淀山湖镇双马路58号-1;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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