研微(江苏)半导体科技有限公司于计划获国家专利权
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龙图腾网获悉研微(江苏)半导体科技有限公司申请的专利加工模块和传输模块之间的连接结构及簇状半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223513917U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422921425.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型加工模块和传输模块之间的连接结构及簇状半导体设备是由于计划;卞达开设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工模块和传输模块之间的连接结构及簇状半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种加工模块和传输模块之间的连接结构及簇状半导体设备，连接结构包括伸缩管体和冷却组件，伸缩管体设有第一接口端和第二接口端，第一接口端与传输模块可拆卸连接，第二接口端与加工模块可拆卸连接，冷却组件设置于伸缩管体的管壁。本实用新型的连接结构在加工模块需要维护清理时，将第一接口端和第二接口端拆卸，然后将伸缩管体缩短，将连接结构移出，腾出维护清理的空间，降低了维护工作的劳动强度，有利于提高维护工作效率；并且，冷却组件设置于伸缩管体的管壁，以实现伸缩管体的散热功能，尤其适用于碳化硅外延工艺的簇状半导体设备中，通过冷却组件降低伸缩管体的温度有利于延长耐高温能力较差的相关零部件的使用寿命。
本实用新型加工模块和传输模块之间的连接结构及簇状半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种加工模块和传输模块之间的连接结构，其特征在于，包括伸缩管体和冷却组件，所述伸缩管体设有第一接口端和第二接口端，所述第一接口端与所述传输模块可拆卸连接，所述第二接口端与所述加工模块可拆卸连接，所述冷却组件设置于所述伸缩管体的管壁。
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