拓荆科技股份有限公司沙俊汀获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种装载设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114188249B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111523568.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种装载设备是由沙俊汀;刘春;李慧设计研发完成，并于2021-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种装载设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种装载设备，包括腔室本体，所述腔室本体的腔室内设有用于加热晶圆的加热盘，所述腔室本体的壁内设有冷却通道；所述冷却通道用于连接恒温系统。本方案中冷却管道可以与外部的恒温系统连接，恒温系统设有热交换器，可以提供具有恒定温度的介质，介质流入冷却通道，继而在腔室本体的壁内流动，以使腔室本体的壁具有恒定的温度，则无需对腔室本体进行过多的隔热处理，具有更好的维护性，而且由于温度得到控制，其他构件与腔室本体连接处的密封圈结构性能得以保障，从而也就有利于提高真空密封的可靠性。
本发明授权一种装载设备在权利要求书中公布了：1.一种装载设备，设置在晶圆盒与真空工艺腔室之间，所述装载设备包括腔室本体，所述腔室本体的腔室内设有用于加热晶圆的加热盘，其特征在于，所述腔室本体的壁内设有冷却通道，所述冷却通道用于连接恒温系统； 所述腔室本体的底壁开设有开孔，所述装载设备包括密封封盖所述开孔的支撑盘，所述加热盘支撑于所述支撑盘，所述加热盘的底部连接有长柄，所述长柄向外穿出所述支撑盘，所述长柄的外侧套设有套结构，所述套结构的顶端与所述支撑盘密封连接，所述套结构的底端由冷却模块封盖，所述冷却模块与所述套结构的底端设有密封圈，所述冷却模块设有环绕所述密封圈设置的冷却流道，所述冷却流道用于连接所述恒温系统； 所述装载设备还包冷却管路，所述冷却管路串联所述冷却流道和所述冷却通道至所述恒温系统。
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