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龙图腾网获悉应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学申请的专利用于检查样本的方法及带电粒子束装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114830286B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980101525.5，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权用于检查样本的方法及带电粒子束装置是由P·库鲁伊特;R·纳夫塔利;J·弗罗西恩;R·施密特;B·J·库克;R·巴迪;D·温克勒设计研发完成，并于2019-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于检查样本的方法及带电粒子束装置在说明书摘要公布了：描述了一种用于辐照或检查样本的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括用于产生初级带电粒子束的带电粒子束源以及具有用于形成四个或更多个初级的多个孔隙的多孔隙透镜板。提供具有用于初级带电粒子束或四个或更多个初级子束的一个开口的两个或更多个电极例如，每个电极具有一个开口。带电粒子束装置进一步包括准直器，以用于使四个或更多个初级子束中的第一初级子束、第二初级子束、第三初级子束、以及第四初级子束相对于彼此偏转。带电粒子束装置进一步包括具有三个或更多个电极的物镜单元，每个电极具有用于四个或更多个初级子束的开口。带电粒子束装置进一步包括用于支撑样本的平台。

本发明授权用于检查样本的方法及带电粒子束装置在权利要求书中公布了：1.一种用于利用初级子束的阵列辐照或检查样本的带电粒子束装置，所述带电粒子束装置包括： 带电粒子束源，所述带电粒子束源用于产生初级带电粒子束； 多孔隙透镜板，所述多孔隙透镜板具有多个孔隙，以用于从所述初级带电粒子束形成四个或更多个初级子束； 两个或更多个电极，所述两个或更多个电极具有用于所述初级带电粒子束或所述四个或更多个初级子束的一个开口，所述两个或更多个电极与所述多孔隙透镜板能经偏压以提供聚焦效果； 准直器，所述准直器用于使所述四个或更多个初级子束中的第一初级子束、第二初级子束、第三初级子束、以及第四初级子束相对于彼此偏转； 对准系统，所述对准系统设置于所述多孔隙透镜板与所述准直器之间，其中所述对准系统包括至少一个四极，以适配所述四个或更多个初级子束之间的节距； 检测单元，所述检测单元具有检测表面，一个或多个检测表面布置于所述四个或更多个初级子束的射束路径之间； 扫描偏转器组件，所述扫描偏转器组件用于在所述样本的表面之上扫描所述四个或更多个初级子束； 物镜单元，所述物镜单元具有三个或更多个电极，每个电极具有用于所述四个或更多个初级子束的开口，所述开口以开口距离间隔开，所述物镜单元被配置成将所述四个或更多个初级子束聚焦于所述样本上以产生四个或更多个信号子束，以及将所述四个或更多个信号子束引导至所述检测表面上；以及 平台，所述平台用于支撑所述样本。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司;代尔夫特理工大学，其通讯地址为：以色列瑞哈佛特市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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