芯三代半导体科技(苏州)有限公司卢勇获国家专利权
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龙图腾网获悉芯三代半导体科技(苏州)有限公司申请的专利一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115163848B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210704404.3，技术领域涉及：F16K1/22；该发明授权一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法是由卢勇;蒲勇;施建新;赵鹏;郑英杰设计研发完成，并于2022-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法。该半导体设备包括：反应模块，其内具有反应腔，反应模块上设置有喷淋装置，喷淋装置连接气体供给部，通过喷淋装置向入反应腔内送入反应气体，且反应模块上配置有排气口；及设置于反应模块与抽真空装置之间的蝶阀，该蝶阀包括：抽真空装置，其通过管道连接至反应模块的排气口；阀体及配置于阀体上的控制器，阀体内配置有流道，其内设有呈圆形的阀板，阀板的中部连接转轴，阀体的端部截面呈椭圆状，转轴连接至控制器的输出端，基于控制器的控制转轴旋转带动阀板旋转，以打开或关闭流道。实现0°至90°范围内有效控压，增大了控压范围，增大蝶阀的控压效率，实现用较小的气体流量来保持压力稳定。
本发明授权一种蝶阀、半导体设备及蝶阀的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种蝶阀，其特征在于，包括： 阀体及配置于阀体上的控制器， 所述阀体内配置有流道，其内设有呈圆形的阀板，所述阀板的中部连接转轴，所述阀板在其轴向的截面的两端呈椭圆状，椭圆的长边在阀体直径方向，椭圆的短边在阀板厚度方向，阀板与流道壁之间的间隙d1=D2-a×cosθ，其中，D为流道的直径，θ为阀板绕转轴旋转的角度，a为椭圆的长边长度， 所述转轴连接至控制器的输出端， 基于控制器的控制所述转轴旋转带动阀板旋转，以打开或关闭所述流道，使阀板在0°至5°之间旋转时，有足够的气体流量变化，并且以非线性的速度控制，实现快速控制气体稳压。
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