台湾积体电路制造股份有限公司蔡明训获国家专利权
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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利用于半导体处理工具的检查工具和使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115236942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210669300.3，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于半导体处理工具的检查工具和使用方法是由蔡明训;赖政豪;简上杰;陈立锐;刘恒信设计研发完成，并于2022-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体处理工具的检查工具和使用方法在说明书摘要公布了：本公开涉及用于半导体处理工具的检查工具和使用方法。本文描述的晶圆台检查工具能够定位在晶圆台上方，同时晶圆台定位在光刻系统的曝光工具的底部模块中。晶圆台检查工具能够快速评估晶圆台上的表面结节状况，并且评估清洁表面结节的清洁操作的清洁性能。
本发明授权用于半导体处理工具的检查工具和使用方法在权利要求书中公布了：1.一种用于检查晶圆台的方法，包括： 执行清洁操作以清洁曝光工具的晶圆平台上的晶圆台； 在所述清洁操作之后将晶圆台检查工具放置在所述晶圆台上方；以及 使用所述晶圆台检查工具的图像捕获装置，在所述晶圆台检查工具在所述晶圆台上方时，执行对所述晶圆台的检查， 其中，所述晶圆台检查工具的所述图像捕获装置用于检查所述晶圆台上的多个表面结节， 其中，执行对所述晶圆台的检查包括：确定所述清洁操作的性能是否满足一个或多个性能阈值，其中，确定所述清洁操作的性能是否满足所述一个或多个性能阈值包括：确定所述多个表面结节的表面粗糙度是否满足表面粗糙度阈值。
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