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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117380784B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311327130.1，技术领域涉及：B21D1/02；该发明授权一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮是由叶大成;赵敏;朱宏;徐华伟;沈洵设计研发完成，并于2023-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，特别涉及一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮，包括：滚轮支撑架；滚轮轴，固定安装于滚轮支撑架上；环槽，开设于滚轮轴外侧壁上；弹性衬套，套设于滚轮轴外侧，弹性衬套与环槽之间形成可膨胀的环形容纳腔；进气装置，位于滚轮支撑架外一侧；其中，环槽与滚轮轴同轴，进气装置的一端与环形容纳腔连通。本发明的有益效果为：通过柔性滚轮的设置能够更好的匹配被压图形材料的形状，使得被压图形材料受力均匀，把不平直的材料图形能够变成标准平直的材料图形，使图形材料在微观细节层面上变的更加稳定平整。

本发明授权一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮在权利要求书中公布了：1.一种精密金属掩膜版生产用柔性滚轮，其特征在于，包括： 滚轮支撑架1； 滚轮轴2，固定安装于滚轮支撑架1上； 环槽3，开设于滚轮轴2外侧壁上； 弹性衬套4，套设于滚轮轴2外侧，弹性衬套4与环槽3之间形成可膨胀的环形容纳腔； 进气装置，位于滚轮支撑架1外一侧； 其中，环槽3与滚轮轴2同轴，进气装置的一端与环形容纳腔连通； 滚轮支撑架1包括： 第一支撑底座5； 第二支撑底座51； 连接杆6，固定连接于第一支撑底座5和第二支撑底座51之间； 容纳箱7，固定安装于第一支撑底座5外侧； 步进电机8，固定安装于第二支撑底座51外侧； 其中，进气装置位于容纳箱7内，步进电机8的输出轴贯穿第二支撑底座51与滚轮轴2固定连接； 进气装置包括： 储气罐9，固定安装于容纳箱7箱底一侧； 蓄水箱10，固定安装于容纳箱7箱底一侧且与储气罐9相邻，蓄水箱10内存储有水； 补气装置，固定安装于蓄水箱10上端一侧； 出气管201，连接于储气罐9上端一侧； 其中，滚轮轴2的一端贯穿第一支撑底座5外侧伸入容纳箱7内，滚轮轴2远离第二支撑底座的一侧开设有进气孔，进气孔上转动密封连接有封堵盖202，封堵盖202朝向进气孔的一侧安装有压力检测模块，滚轮轴2内侧开设有用于连通环形容纳腔与进气装置的进气通道，进气通道的其中一端位于环槽3槽底，另一端位于进气孔孔底，出气管201远离储气罐9的一端贯穿封堵盖202与进气孔连通，出气管201上固定安装有用于启闭出气管201的第一电磁阀，第一电磁阀处于常闭状态，位于容纳箱7的滚轮轴2外侧还键连接有用于驱动进气装置的第一齿轮。

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