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碳一新能源(杭州)有限责任公司;碳一新能源集团有限责任公司;浙江锂宸新材料科技有限公司杜宁获国家专利权

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龙图腾网获悉碳一新能源(杭州)有限责任公司;碳一新能源集团有限责任公司;浙江锂宸新材料科技有限公司申请的专利一种高效气相沉积工艺及其产品和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117403203B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311246511.7,技术领域涉及:C23C16/04;该发明授权一种高效气相沉积工艺及其产品和应用是由杜宁;王振;孙宁;胡昊;杨德仁;岳敏设计研发完成,并于2023-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高效气相沉积工艺及其产品和应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高效气相沉积工艺,以多孔碳材料为基底,以含硅气体、含磷气体、含氮气体、含硫气体、含硼气体、含锂气体为原料气,经分阶段气相沉积后在多孔碳材料孔穴内部沉积纳米颗粒;第一阶段,控制反应器内温度为300~800℃,初始压强为10~100Kpa,通入原料气的流速为2~15Lmin;当反应器内压强开始下降时进入下一阶段;第二阶段,将反应器内初始压强调整为5~25Kpa,调整通入原料气的流速为8~50Lmin;当反应器内压强开始升高则结束沉积。本发明的沉积工艺可显著提高多孔碳基底的孔结构利用率,降低其比表面积;制备产物中纳米颗粒具有高的沉积量,且存在于多孔碳的孔道内部并分散均匀。

本发明授权一种高效气相沉积工艺及其产品和应用在权利要求书中公布了:1.一种高效气相沉积工艺,其特征在于,包括如下步骤: 以多孔碳材料为基底,经分阶段气相沉积后在所述多孔碳材料孔穴内部沉积掺杂元素的纳米颗粒; 所述分阶段气相沉积以含硅气体、含磷气体、含氮气体、含硫气体、含硼气体、含锂气体中的一种或多种作为原料气,包括: 第一阶段,控制反应器内温度为300~800℃,初始压强为10~100Kpa,通入原料气的流速为2~15Lmin;当反应器内压强开始出现下降,且压强变化值为初始压强的10~75%时,进入下一阶段; 第二阶段,将反应器内初始压强调整为5~25Kpa,调整通入原料气的流速为8~50Lmin; 并且,所述第二阶段的初始压强低于所述第一阶段的初始压强;所述第二阶段的原料气的流速要高于所述第一阶段的原料气的流速; 当反应器内压强开始出现升高,且压强变化值为初始压强的5~50%时,结束沉积; 当反应器内压强开始出现下降,且压强变化值为初始压强的10~75%时,将反应器内压强再次调整为3~15Kpa,原料气的流速仍然控制为8~50Lmin,继续沉积直至反应器内压强开始出现升高,且压强变化值为再次调整后压强的5~50%时,结束沉积; 并且,再次调整后的压强低于所述第二阶段的初始压强。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人碳一新能源(杭州)有限责任公司;碳一新能源集团有限责任公司;浙江锂宸新材料科技有限公司,其通讯地址为:311121 浙江省杭州市余杭区五常街道岸汀街980号2幢10层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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