中微半导体设备(上海)股份有限公司;中微半导体(上海)有限公司王红军获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司;中微半导体(上海)有限公司申请的专利一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118782451B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410750053.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置是由王红军;周晓锋;杜琨;高鹏;周俊;张辉设计研发完成，并于2024-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置。该加热板包括：绝缘材料制成的基板，基板内包括加热层，所述加热层中包括多个独立可控的加热单元。本发明的驱动控制电路整体结构简单、成本低且响应速度快，使得加热板中完成一次加热循环的时间很短，减小每个加热单元的温度波动。
本发明授权一种多区加热板及下电极组件和等离子处理装置在权利要求书中公布了：1.一种多区加热板，其特征在于，包括： 绝缘材料制成的基板，基板内包括加热层，所述加热层中包括多个加热单元； 多个子加热区，用于加热基板的不同区域，每个子加热区中包括至少两个加热单元，其中第一子加热区的第一加热单元与第二子加热区的第一加热单元组成第一加热单元组，第一子加热区的第二加热单元与第二子加热区的第二加热单元组成第二加热单元组； 所述第一加热单元组和所述第二加热单元组中的两个第一加热单元第一端通过第一跨区连接线联通，所述第一跨区连接线连接到位于基板底部的一个第一接口； 所述第一加热单元组中和所述第二加热单元组中的两个第二加热单元第一端通过第二跨区连接线联通，所述第二跨区连接线连接到位于基板底部的另一个第一接口； 第一子加热区和第二子加热区的第一、第二加热单元的第二端通过第一区域连接线互相联通，所述第一区域连接线连接到位于基板底部的第二接口； 所述基板底部的多个第一接口用于连接到第一单向导通开关和第二单向导通开关，其中第一和第二单向导通开关的连接方向相反； 所述第二接口或者多个第一接口用于接收外部的脉冲式加热电压，所述脉冲式加热电压在正加热电压和负加热电压之间变化。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司;中微半导体(上海)有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励