无锡先导智能装备股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡先导智能装备股份有限公司申请的专利硅片导片机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119297132B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411345279.7,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权硅片导片机是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片导片机在说明书摘要公布了:本发明提供了一种硅片导片机,包括:备料模块,所述备料模块设有多个备料单元,多个所述备料单元用于交替提供硅片;上料模块,所述上料模块用于将所述备料单元提供的硅片上料至第一设定工位;导片输送模块,所述导片输送模块与所述上料模块配合以承接所述第一设定工位的硅片,并向第二设定工位输送所述硅片;花篮升降模块,所述花篮升降模块设有多个升降单元,多个所述升降单元适于向第二设定工位交替提供花篮,并与所述硅片输送模块配合,以将所述硅片导入所述花篮。本发明的硅片导片机,通过设置的备料模块能够持续不断的提供硅片,设置的花篮升降模块也能够持续不断地提供待导入硅片的花篮,从而可以有效提高硅片导片机的导片效率。
本发明授权硅片导片机在权利要求书中公布了:1.一种硅片导片机,其特征在于,包括: 备料模块10,所述备料模块10设有多个备料单元,多个所述备料单元用于交替提供硅片; 上料模块20,所述上料模块20用于将所述备料单元提供的硅片上料至第一设定工位;所述上料模块20包括:负压输送带装置21,所述负压输送带装置21位于所述备料单元的上方,所述负压输送带装置21适于吸附所述备料单元提供的硅片,并将所述硅片输送至第一预设工位; 导片输送模块30,所述导片输送模块30与所述上料模块20配合以承接所述第一设定工位的硅片,并向第二设定工位输送所述硅片; 花篮升降模块40,所述花篮升降模块40设有多个升降单元; 所述硅片导片机设有机架110,所述花篮升降模块40包括: 滑动架41,所述滑动架41沿第一方向可活动地设于所述机架110; 多个花篮升降架42,所述花篮升降架42为所述升降单元,多个所述花篮升降架42沿第二方向可活动地设于所述滑动架41; 花篮移送装置43,每个所述花篮升降架42设有所述花篮移送装置43,所述花篮移送装置43适于将花篮从所述花篮升降架42移出,或将花篮移入所述花篮升降架42; 第一驱动件44,所述第一驱动件44设于所述机架110,所述第一驱动件44与所述滑动架41连接,所述第一驱动件44适于驱动所述滑动架41沿所述第一方向活动; 第二驱动件45,每个所述升降架与所述滑动架41之间分别设有所述第二驱动件45,所述第二驱动件45适于驱动对应所述花篮升降架42沿所述第二方向活动; 其中,所述第一驱动件44适于驱动所述滑动架41沿第一方向活动,以向第二设定工位交替提供花篮,所述第二驱动件45与所述导片输送模块30配合,以将所述硅片导入所述花篮。
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