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江苏大学顾寄南获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏大学申请的专利一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119671776B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411826640.8,技术领域涉及:G06Q50/04;该发明授权一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统是由顾寄南;高艳;赵宇凡;杨绍俊;刘文新;孙佩月;王翔设计研发完成,并于2024-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统,包括芯片缺陷检测模块、数据存储与知识图谱构建模块、推理分析模块和反馈优化模块;基于知识推理系统进行缺陷根因分析和生产工艺优化,且反馈优化模块基于推理结果生成工艺优化建议,通过自动工艺调整系统和自适应反馈控制器对生产流程进行实时优化,确保优化措施能够有效减少缺陷的发生。本系统通过集成缺陷检测、知识推理和工艺优化闭环,能够实现缺陷早期预警、根因分析和工艺参数的自动调整,显著提高芯片生产过程的质量和效率。

本发明授权一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统在权利要求书中公布了:1.一种基于知识图谱推理的芯片缺陷检测与优化系统,其特征在于,包括:芯片缺陷检测模块、数据存储与知识图谱构建模块、推理分析模块、反馈优化模块; 所述芯片缺陷检测模块包括扫描探针显微镜SPM、图像处理单元和YOLOv8目标检测模型,所述扫描探针显微镜SPM对芯片表面进行扫描获得图像数据;所述图像处理单元从图像数据中提取缺陷特征;YOLOv8目标检测模型对缺陷特征进行识别,输出缺陷数据; 所述数据存储与知识图谱构建模块包括数据存储系统、数据预处理与标准化单元、知识图谱生成引擎;所述数据存储系统用于存储芯片缺陷检测模块输出的缺陷数据以及芯片制造过程的图片数据、工艺数据、历史缺陷记录;数据预处理与标准化单元对数据存储系统的数据进行预处理;知识图谱生成引擎基于预处理后的数据构建芯片制造的知识图谱; 所述推理分析模块包括知识推理引擎、故障诊断模型;所述知识推理引擎利用贝叶斯算法对知识图谱中相互关联的2个节点之间的概率值;所述故障诊断模型采用长短期记忆网络LSTM,将知识推理引擎中得到的知识图谱概率数据序列作为LSTM网络的输入,利用LSTM网络预测出可能导致缺陷的根本原因或设备故障的预测结果; 所述反馈优化模块包括工艺优化建议生成器、自动工艺调整系统,所述工艺优化建议生成器根据故障诊断模型预测出的导致缺陷的根本原因,生成系统优化建议;所述自动工艺调整系统接收工艺优化建议生成器生成的系统优化建议,对生产线工艺参数的自动化调整。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏大学,其通讯地址为:212013 江苏省镇江市学府路301;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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