深圳市智立方自动化设备股份有限公司毛磊获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市智立方自动化设备股份有限公司申请的专利一种分选固晶精度补偿方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119890117B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411916457.7,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权一种分选固晶精度补偿方法是由毛磊;张正辉;肖刚;王伟设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分选固晶精度补偿方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种分选固晶精度补偿方法,该方法包括以下步骤:使用分选设备对晶粒进行分选;采集不同型号基板最近一次加工时的历史数据,并对采集的历史数据根据基板型号进行分类,同时建立数据库将数据存储;将准备加工的基板与数据库中的数据进行匹配,获取历史数据的加工参数,根据历史数据中的偏差值,建立吸嘴与晶粒之间的补偿关系模型,使用历史数据中的初次加工参数作为预设加工参数,在固晶之前,利用补偿模型对预设加工参数进行调整,获得准确的初始加工参数。本发明通过收集历史数据,并根据历史偏差数据对预设参数进行补偿调整能够提高初始设置参数的准确度,同时还具有实时调整固晶位置的功能的作用,提高每次固晶的准确度。
本发明授权一种分选固晶精度补偿方法在权利要求书中公布了:1.一种分选固晶精度补偿方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: S1、使用分选设备对晶粒进行分选; S2、采集不同型号基板最近一次加工时的历史数据,并对采集的历史数据根据基板型号进行分类,同时建立数据库将数据存储; S21、收集加工参数、质量参数、设备状态、环境参数,加工参数包括固晶压力、温度、时间,质量参数包括误差参数、补偿量,设备状态包括设备编号、校准记录,环境参数包括温湿度、振动水平; S3、将准备加工的基板与数据库中的数据进行匹配,获取历史数据的加工参数,根据历史数据中的偏差值,建立吸嘴与晶粒之间的补偿关系模型,使用历史数据中的初次加工参数作为预设加工参数,在固晶之前,利用补偿模型对预设加工参数进行调整,获得准确的初始加工参数; S4、使用获得的初始参数进行固晶操作,在每次抓取晶粒后,对已抓取的晶粒进行拍照,记录图像,并根据拍摄的图像对晶粒外部表面进行缺陷检测; S41、输入确定的加工参数,执行抓取动作; S42、拍照设备自动执行拍照功能,对已抓取的晶粒进行拍照,拍照内容包括晶粒的外部图像以及晶粒的位置图像; S43、对拍摄的晶粒的外部图像进行预处理,包括去噪、增强对比度、调整亮度以及放大; S44、使用图像处理算法对图像进行处理,自动识别晶粒表面的缺陷,包括裂纹、划痕、异物以及不均匀涂层; S45、识别到晶粒外部有缺陷时,将缺陷晶粒抓取至特殊处理通道,使晶粒进行返工或者报废,未识别到晶粒外部有缺陷时,继续进固晶操作; S5、将当前抓取晶粒的位置与上一颗晶粒的位置比较,计算出相对偏差值,并根据偏差值计算补偿值; S6、将补偿值输出,并按照补偿后的目标位置执行固晶操作,确保晶粒被准确固化到基板上; S7、加工完成后,将加工数据整合,输入数据库,并替换数据库中当前类别基板加工的历史数据。
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