杭州阿童木科技有限公司郑一格获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州阿童木科技有限公司申请的专利一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置及使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120099499B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510376630.7，技术领域涉及：C23C16/458；该发明授权一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置及使用方法是由郑一格;吴波睿;蒋李清设计研发完成，并于2025-03-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置及使用方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置及使用方法，涉及气相沉积设备技术领域，包括：支架，所述支架的顶面固定安装有化学气相沉积炉，所述化学气相沉积炉的前侧壁通过连接件安装有炉门；升降旋转机构，升降旋转机构设置在炉门的内部，升降旋转机构包括：底座，所述底座的顶面开设有安装槽，所述安装槽的内部固定安装有伺服电机，所述底座的顶面转动连接有主轴本体，通过设置有检测组件，实现了对反应室内混合气体浓度的实时监测与精准控制，检测组件中的电化学传感器、电阻型半导体传感器与热导式气体传感器能够分别精确测量甲基三氯硅烷、氢气与氩气的浓度，确保了对反应室内气体成分的全面监控。
本发明授权一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置及使用方法在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置，包括，支架1，所述支架1的顶面固定安装有化学气相沉积炉2，所述化学气相沉积炉2的前侧壁通过连接件安装有炉门3，其特征在于：还包括： 升降旋转机构，升降旋转机构设置在炉门3的内部，升降旋转机构包括： 底座4，所述底座4的顶面开设有安装槽5，所述安装槽5的内部固定安装有伺服电机6，所述底座4的顶面转动连接有主轴本体7； 检测组件，检测组件设置在底座4上，检测组件包括：L型块20，所述L型块20固定安装在底座4的底面上，所述L型块20的侧壁开设有移动槽21，所述移动槽21的内壁转动连接有往复丝杆22，所述往复丝杆22与主轴本体7的外表面均固定安装有联轴器23，两个所述联轴器23之间设置有传动带24，所述往复丝杆22的外表面螺纹连接有移动块25，所述移动块25在移动槽21中滑动； 放置组件，放置组件设置在主轴本体7上，放置组件设置有三组。
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