无锡旭电科技有限公司石杰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡旭电科技有限公司申请的专利卷对卷高精度投影式曝光机的精度优化方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120143559B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510423718.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权卷对卷高精度投影式曝光机的精度优化方法及系统是由石杰;刘凌益设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本卷对卷高精度投影式曝光机的精度优化方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻曝光技术领域，公开了一种卷对卷高精度投影式曝光机的精度优化方法及系统，所述方法包括获取微观深度数据、材料振动数据和曝光重叠区域；根据所述微观深度数据进行能量分布分析，得到曝光能量分布；根据所述材料振动数据进行频域分析，得到振动频域特征；根据所述曝光能量分布和所述振动频域特征进行相关性计算，得到关联影响矩阵；对所述曝光重叠区域进行能量累积分析，得到重叠修正因子；根据所述重叠修正因子和所述关联影响矩阵进行曝光参数优化，更新曝光机控制参数。本方法具有以下效果：本方法可以提高卷对卷投影式曝光机的工作精度。
本发明授权卷对卷高精度投影式曝光机的精度优化方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种卷对卷高精度投影式曝光机的精度优化方法，其特征在于，包括： 获取微观深度数据、材料振动数据和曝光重叠区域； 根据所述微观深度数据进行能量分布分析，得到曝光能量分布； 根据所述材料振动数据进行频域分析，得到振动频域特征； 根据所述曝光能量分布和所述振动频域特征进行相关性计算，得到关联影响矩阵； 对所述曝光重叠区域进行能量累积分析，得到重叠修正因子； 根据所述重叠修正因子和所述关联影响矩阵进行曝光参数优化，更新曝光机控制参数。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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