全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉全芯智造技术有限公司申请的专利光学邻近校正方法、电子设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120539999B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511036765.5,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权光学邻近校正方法、电子设备及存储介质是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本光学邻近校正方法、电子设备及存储介质在说明书摘要公布了:本公开的实施例涉及光学邻近校正方法、电子设备及存储介质。该方法包括:多个运算核心中的每个运算核心分别引用共享的内存中存储的版图中的待校正区块的相邻区块的信息,以确定相邻区块对待校正区块的影响;基于待校正区块的信息以及影响对待校正区块进行OPC校正,以生成校正区块;以及对各个校正区块按照相应的各个区块对应的原始版图的位置进行拼接以形成校正版图。本公开实施例的技术方案能够显著提高OPC程序的运行效率,减少小块边缘问题。
本发明授权光学邻近校正方法、电子设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种光学邻近校正方法,包括: 多个运算核心中的每个运算核心分别实时读取共享的内存中存储的版图中的待校正区块的相邻区块的信息,以确定所述相邻区块对所述待校正区块的影响; 基于所述待校正区块的信息以及所述影响对所述待校正区块进行光学邻近校正,以生成校正区块;以及 对各个所述校正区块按照相应的各个区块对应的原始版图的位置进行拼接以形成校正版图; 其中,在各个校正循环中,基于各个运算核心的运算状况进行调度,以使得先完成运算的运算核心协助未完成运算的运算核心进行运算。
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