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龙图腾网获悉气派科技股份有限公司申请的专利一种高密度框架结构及其制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120565531B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511044383.7，技术领域涉及：H01L23/495；该发明授权一种高密度框架结构及其制作方法是由蔡择贤;曹周;朱成昆;顿宝宏;饶锡林;尹丹;梅俊杰;饶阳帆设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高密度框架结构及其制作方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种高密度框架结构及其制作方法，涉及半导体技术领域，高密度框架结构包括至少两个薄框架，相邻两个薄框架结合形成框架成品，框架成品内设置间隙，间隙宽度小于框架成品厚度的0.8倍。本发明中，框架成品由至少两个薄框架结合形成，框架成品的间隙宽度小于框架成品厚度的0.8倍，增加了框架成品表面的有效承载面积，从而能够在框架成品表面集成更多的设计结构，提高了框架成品表面集成密度，实现了框架成品表面的高密度布线，提高了框架成品的利用率。

本发明授权一种高密度框架结构及其制作方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度框架结构制作方法，其特征在于，包括以下步骤： 准备至少两块铜材并清洗铜材表面； 在铜材表面附着感光胶； 在感光胶表面印刷框架蚀刻形状，形成待蚀刻区域； 对形成待蚀刻区域的铜材进行曝光处理，曝光后进行显影，清洗感光胶，露出铜材表面待蚀刻区域； 对待蚀刻区域进行蚀刻处理； 对铜材表面感光胶进行退胶，制得薄框架； 将相邻两个薄框架结合制得框架成品，框架成品内设置间隙，间隙宽度小于框架成品厚度的0.8倍； 附着感光胶包括： 基于预设涂抹路线在铜材表面进行第一次感光胶涂抹； 基于最优涂抹补偿路线在铜材表面进行第二次感光胶涂抹； 待感光胶干燥后，感光胶附着完成； 感光胶干燥包括： 将进行第二次感光胶涂抹后的铜材放入干燥设备； 调整进入干燥设备的干燥气流温度； 实时监测感光胶温度，基于感光胶温度升降情况确定干燥程度； 调整进入干燥设备的干燥气流温度包括： 升温阶段：将干燥气流温度从初始温度调节至最高温度； 降温阶段：将干燥气流温度从最高温度调节至保护温度，其中最高温度大于初始温度与保护温度； 基于感光胶温度升降情况确定干燥程度包括： 根据升温阶段的感光胶温度升降情况确定感光胶升温速率； 根据降温阶段的感光胶温度升降情况确定感光胶降温速率； 计算感光胶升温速率与感光胶降温速率的差值的绝对值，获取感光胶温度升降速率； 若感光胶温度升降速率超过预设速率阈值，判定感光胶未完成干燥，并将铜材重新放入干燥设备进行干燥； 若感光胶温度升降速率不超过预设速率阈值，则判定感光胶完成干燥。

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