苏州大学陈风楠获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种石墨烯微悬臂梁谐振器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120613990B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511124515.7，技术领域涉及：H03H9/15；该发明授权一种石墨烯微悬臂梁谐振器及其制备方法是由陈风楠;吴博;卢恒;莫泽;延英设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石墨烯微悬臂梁谐振器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种石墨烯微悬臂梁谐振器及其制备方法，涉及微纳机电系统传感技术领域，其包括将石墨烯薄膜转移至硅片上，退火处理得到石墨烯薄膜硅片，刻蚀得到图案化石墨烯薄膜硅片；在图案化石墨烯薄膜硅片的图案化石墨烯两侧分别镀源电极和漏电极，得到带电极的石墨烯薄膜硅片；对带电极的石墨烯薄膜硅片进行硅腐蚀后置于异丙醇中，取出得到双端悬浮的石墨烯谐振器；通过电加热退火将双端悬浮的石墨烯谐振器断开得到石墨烯微悬臂梁谐振器。本发明的石墨烯悬臂梁谐振器在300K室温下可以达到58Mhz的最大谐振频率，600的品质因子，并且在300K室温条件下测到了石墨烯悬臂梁的热噪声功率谱密度。
本发明授权一种石墨烯微悬臂梁谐振器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种石墨烯微悬臂梁谐振器的制备方法，其特征在于，包括： 将石墨烯薄膜转移至硅片上，退火处理后得到石墨烯薄膜硅片； 对石墨烯薄膜硅片进行刻蚀得到图案化石墨烯薄膜硅片，包括： 在石墨烯薄膜硅片上均匀涂抹电子束光刻胶； 利用电子束光刻工艺对石墨烯薄膜硅片进行曝光、显影、定影，得到石墨烯图案，所述石墨烯图案分为去胶部分和光刻胶覆盖部分，其中，所述光刻胶覆盖部分作为掩膜； 对石墨烯图案进行离子体刻蚀，以实现对去胶部分进行刻蚀，清洗去除光刻胶后得到图案化石墨烯薄膜硅片； 在图案化石墨烯薄膜硅片的图案化石墨烯两侧分别镀源电极和漏电极，实现源电极和漏电极与图案化石墨烯欧姆接触，得到带电极的石墨烯薄膜硅片； 对带电极的石墨烯薄膜硅片进行硅腐蚀后置于异丙醇中，取出得到双端悬浮的石墨烯谐振器； 通过电加热退火将双端悬浮的石墨烯谐振器断开得到石墨烯微悬臂梁谐振器。
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