北京航空航天大学徐惠彬获国家专利权
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龙图腾网获悉北京航空航天大学申请的专利一种预渗氮的软磁高熵合金靶材制备方法、靶材及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120625005B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511120238.2，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种预渗氮的软磁高熵合金靶材制备方法、靶材及应用是由徐惠彬;王方方;高明;张虎设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种预渗氮的软磁高熵合金靶材制备方法、靶材及应用在说明书摘要公布了：本发明属于软磁高熵合金材料与磁控溅射技术领域，具体是涉及一种预渗氮的软磁高熵合金靶材制备方法、靶材及应用，包括：按照软磁高熵合金的成分含量进行合金料的配比，完成熔炼并加工成靶材，采用气体渗氮工艺对靶材进行渗氮处理；对渗氮处理后的靶材表面进行抛光处理，得到磁控溅射用的预渗氮软磁高熵合金靶材，基于预渗氮的软磁高熵合金靶材，利用磁控溅射工艺，在基底表面溅射镀膜，形成软磁高熵合金氮化膜；本发明避免了传统溅射通入氮气可能引起靶中毒和氮气的分布不同导致的基底上溅射的薄膜微区内不均匀，降低溅射设备内部腔室污染，提高薄膜的成膜质量和薄膜的软磁性能。
本发明授权一种预渗氮的软磁高熵合金靶材制备方法、靶材及应用在权利要求书中公布了：1.一种预渗氮的软磁高熵合金靶材制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 1按照软磁高熵合金的成分含量进行合金料的配比，熔炼得到软磁高熵合金靶材；所述软磁高熵合金的成分包括Fe、Co、Ni，以及Zr和或B元素；各成分元素的含量预设范围为： 1Zr：10.5~14.2at%，Fe：21.7~50.5at%，Co：16.4~53.4at%，Ni：12.3~22.1at%；或 2B：7.5~12.1at%，Fe：20.3~54.5at%，Co：13.5~58.5at%，Ni：11.2~22.5at%；或 3B：4.6~8.8at%，Zr：2.7~6.5at%，Fe：20.3~54.5at%，Co：13.5~58.5at%，Ni：11.2~22.5at%； 2采用气体渗氮工艺对软磁高熵合金靶材进行渗氮处理； 3对软磁高熵合金靶材表面进行表面处理，得到磁控溅射用的预渗氮的软磁高熵合金靶材。
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