中国计量大学夏志刚获国家专利权
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龙图腾网获悉中国计量大学申请的专利一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120652126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511106329.0,技术领域涉及:G01Q10/00;该发明授权一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法是由夏志刚;李旭阳;张晶晶设计研发完成,并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法,包括镜体外框、第一扫描单元、旋转式探针切换单元和第二扫描单元;第一扫描单元的上端固定在镜体外框的上端并且第一扫描单元的下端为自由端,能够实现三维扫描;旋转式探针切换单元置于镜体外框的下端,包括旋转圆台、倒置安装套筒和第一探针起振架,倒置安装套筒固定在旋转圆台上并与旋转圆台同轴心,第一探针起振架位于倒置安装套筒的上端;第二扫描单元固定在旋转圆台上。本发明可在测试过程中实现探针灵活切换,在一次样品加载中完成多模态测量,特别适用于低温、强磁场等测试准备周期长、成本高的极端环境下,有助于提高测量效率并显著降低测试成本。
本发明授权一种旋转式组合扫描探针显微镜和测量方法在权利要求书中公布了:1.一种旋转式组合扫描探针显微镜,其特征在于,包括镜体外框100、第一扫描单元200、旋转式探针切换单元300和第二扫描单元400;所述第一扫描单元200的上端固定在镜体外框100的上端并且第一扫描单元200的下端为自由端;所述旋转式探针切换单元300置于镜体外框100的下端,旋转式探针切换单元300包括旋转圆台304、倒置安装套筒303和第一探针起振架302,所述倒置安装套筒303固定在旋转圆台304上并与旋转圆台304同轴心,所述第一探针起振架302位于倒置安装套筒303的上端;所述第二扫描单元400固定在旋转圆台304上,并被倒置安装套筒303包围,在第二扫描单元400上端设置有第二探针架402;所述第一探针起振架302和第二探针架402能够绕旋转圆台304的轴心同步旋转; 所述第一探针起振架302和第二探针架402上分别安装第一探针301与第二探针401时,调整第一探针301与第二探针401使它们在空间上相对于末端旋转轴305同圆心布置,在旋转式探针切换单元300旋转运动过程中两探针能够依次对准待测样品位置,以实现多模态成像。
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