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龙图腾网获悉苏州威达智科技股份有限公司申请的专利一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120714920B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511225759.4，技术领域涉及：B07C5/34；该发明授权一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置是由刘曜轩;刘攀;李春凯设计研发完成，并于2025-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开的一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置，包括上料输送组件与下料输送组件；上料料仓组件一侧设置有上料搬运组件，上料搬运组件将待检测产品抓取放至上料输送组件；检测组件包括第一检测相机与第二检测相机，检测组件一侧设置有翻转移载组件，翻转移载组件将第一检测相机检测完成后的产品翻转并放至下料输送组件；下料输送组件一端设置有下料料仓组件，下料搬运组件将检测完好的OK产品搬运至下料料仓组件；下料输送组件一端的上方设置有NG机构，NG机构将检测缺陷的NG产品进行搬运下料；本申请能够实现产品的全自动化检测，大幅提高生产效率，降低综合成本，减少人力依赖。

本发明授权一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆缺陷的光学自动检测装置，包括：设备平台以及设置在设备平台顶部的壳体；其特征在于： 所述设备平台顶部并列设置有上料输送组件与下料输送组件； 所述上料输送组件一端设置有上料料仓组件，所述上料料仓组件放置有待检测产品，所述上料料仓组件一侧设置有上料搬运组件，所述上料搬运组件将待检测产品抓取放至上料输送组件； 所述设备平台顶部设置有检测组件，所述检测组件包括第一检测相机与第二检测相机，所述第一检测相机设置在上料输送组件上方，所述第二检测相机设置在下料输送组件的上方； 所述检测组件一侧设置有翻转移载组件，所述翻转移载组件将第一检测相机检测完成后的产品翻转并放至下料输送组件； 所述下料输送组件一端设置有下料料仓组件，所述下料料仓组件一侧设置有下料搬运组件，所述下料搬运组件将检测完好的OK产品搬运至下料料仓组件； 所述下料输送组件一端的上方设置有NG机构，所述NG机构将检测缺陷的NG产品进行搬运下料； 所述上料输送组件与所述下料输送组件均并列设置两个，两个所述上料输送组件端部均设置有上料料仓组件，所述上料料仓组件包括上料弹夹，所述上料弹夹内部设置有若干个待检测产品，所述上料弹夹下方设置有顶升杆，所述顶升杆底部配合连接有上料顶升模组，所述上料顶升模组用于控制顶升杆沿竖直方向移动； 所述检测组件包括安装在设备平台顶部的检测支架，所述检测支架顶部并列设置有检测调节座，其中一个检测调节座顶部配合连接有第一检测安装座，另一个检测调节座顶部配合连接有第二检测安装座； 所述第一检测安装座一侧并列设置有两个第一检测竖直调节模组，任一所述第一检测竖直调节模组一侧配合连接有第一检测相机与第一检测光源，所述第一检测光源位于所述第一检测相机下方，两个第一检测相机与两个上料输送流道位置相对应； 所述翻转移载组件包括翻转移载水平模组以及配合连接在翻转移载水平模组顶部的两个翻转移载水平导轨，所述翻转移载水平导轨上方配合连接有翻转移载水平滑块，所述翻转移载水平滑块顶部设置有翻转移载立板，所述翻转移载立板一侧设置有翻转移载竖直模组，所述翻转移载竖直模组两侧对称设置有翻转移载竖直导轨，所述翻转移载竖直模组一侧活动连接有翻转移载竖直滑块，所述翻转移载竖直滑块一侧的两端分别活动连接至两侧的翻转移载竖直导轨上，所述翻转移载竖直滑块两端对称设置有可旋转的翻转移载电爪，所述翻转移载电爪抓取上料输送组件上的待检测产品进行180度翻转。

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