买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉无锡展硕科技有限公司申请的专利一种高精度多区域半导体加热平台控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120742628B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511237398.5，技术领域涉及：G03F7/38；该发明授权一种高精度多区域半导体加热平台控制系统是由季中伟设计研发完成，并于2025-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度多区域半导体加热平台控制系统在说明书摘要公布了：本发明涉及应用于半导体相关技术领域的一种高精度多区域半导体加热平台控制系统，通过分区加热单元以及局部加热单元的设置，在后期出现局部溶剂未完全去除的情况时，配合异常监测单元的设置，可及时确定异常点的位置，并通过热补偿盘进行针对性的加热，相较于现有技术中同区域的整体加热，大幅度降低对其他正常区域的影响，有效提高对光刻胶表面溶剂去除的均匀性，使其表面胶膜成型更加均匀；另外，异常监测单元在监测到异常点后，还可确定异常点的边缘轮廓，在进行针对性加热时，热补偿盘可根据该轮廓再次缩小实际的加热区域，进一步提高低异常点二次加热的准确性，进一步降低对其他区域的影响。

本发明授权一种高精度多区域半导体加热平台控制系统在权利要求书中公布了：1.一种高精度多区域半导体加热平台控制系统，其特征在于：包括安装在加热平台上的控制中心以及与控制中心信号连接的晶圆转运模块、排烟单元3、加热模块以及异常监测单元，所述控制系统还包括用于仿真加热平台的仿真平台，所述仿真平台与控制中心信号连接，所述加热模块包括分区加热单元4以及位于分区加热单元4下方的局部加热单元，所述分区加热单元4划分为圆形加热区41以及多个与圆形加热区41同轴的环形加热区42，最外层的所述环形加热区42等分为多个独立控温的弧形加热区； 所述晶圆转运模块包括通过电动滑轨安装在加热平台底板上的输送盘11和三个呈环形阵列分布的外电动推杆12，三个所述外电动推杆12的伸长端均活动贯穿分区加热单元4，所述输送盘11上开凿有两个开口长槽并与外电动推杆12对应； 所述异常监测单元包括通过环形电动滑轨安装在烘烤腔内底壁的红外传感器5，所述红外传感器5下端通过电动转轴连接有强磁滑块501，所述强磁滑块501与环形电动滑轨相互匹配，所述局部加热单元包括与强磁滑块501对应的铁磁滑块61、固定连接在铁磁滑块61下端的内电动推杆62以及固定连接在内电动推杆62端部的热补偿盘7，所述热补偿盘7位于分区加热单元4下方，且热补偿盘7与分区加热单元4相互接触，所述加热平台内开凿有补偿腔201，所述补偿腔201上内壁开凿有与环形电动滑轨对应的环形滑槽，所述补偿腔201位于分区加热单元4正下方，且热补偿盘7位于补偿腔201内； 所述热补偿盘7包括朝向分区加热单元4的导热顶盘71、位于导热顶盘71下方的隔热层731、与隔热层731下端固定贴附的底盘732以及多个分别固定镶嵌在导热顶盘71内的加热片72，每个所述加热片72的下端均对应设置有选择通电单元，所述选择通电单元设置在导热顶盘71和隔热层731之间； 所述选择通电单元包括放置在隔热层731上端的T形导电柱742、固定连接在加热片72下端的两个绝缘柱741以及固定连接在T形导电柱742台阶处、绝缘柱741之间的弹性筒743以及固定镶嵌在底盘732内的电磁片744，两个所述绝缘柱741的端部均延伸至隔热层731和导热顶盘71之间，所述T形导电柱742上端延伸至两个绝缘柱741之间并不与导热顶盘71下端接触； 两个所述绝缘柱741相互靠近的一端内壁均固定镶嵌有导电触片701，所述导电触片701与加热片72电连接，且导电触片701位于T形导电柱742上方，所述T形导电柱742底部贴附有磁性贴片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡展硕科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市梁溪区会北路26-18；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。