苏州茂特斯科技股份有限公司吕松也获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州茂特斯科技股份有限公司申请的专利一种晶圆吸附设备、方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120749065B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511263491.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆吸附设备、方法是由吕松也;王荣;许泽祥设计研发完成，并于2025-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆吸附设备、方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种晶圆吸附设备。用于将转塔下方的晶圆吸附并旋转至下一工位，其特征在于，包括转塔，转塔具有水平设置的旋转轴线，围绕旋转轴线安装有多个吸嘴；对应任意吸嘴设置有吸附机构，吸附机构包括开设于任意吸嘴端部的吸附孔，连通吸附孔并与旋转轴线同轴的气环和气轴；气环对应吸嘴设置为多个，多个气环沿轴向套设于气轴的外壁并能够相对气轴旋转，任意气环的外壁沿径向设置有第一吸附接口，用于连接外部真空设备，气环的内壁开设有连通第一吸附接口的环形结构的气槽；吸嘴安装于气轴的一端，气轴上开设有气道，气道的两端分别连通气槽和吸附孔；任意第一吸附接口具有与唯一的气槽、气道以及吸附孔对应连通。
本发明授权一种晶圆吸附设备、方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆吸附转塔，用于将转塔下方的晶圆吸附并旋转至下一工位，其特征在于，包括转塔，所述转塔具有水平设置的旋转轴线，围绕旋转轴线安装有多个吸嘴1； 对应任意吸嘴1设置有吸附机构，所述吸附机构包括开设于任意吸嘴1端部的吸附孔，连通吸附孔并与旋转轴线同轴的气环2和气轴3； 所述气环2对应吸嘴1设置为多个，多个所述气环2沿轴向套设于气轴3的外壁并能够相对气轴3旋转，任意气环2的外壁沿径向设置有第一吸附接口21，用于连接外部真空设备，所述气环2的内壁开设有连通第一吸附接口21的环形结构的气槽22； 所述吸嘴1安装于气轴3的一端，所述气轴3上开设有气道，所述气道的两端分别连通气槽22和吸附孔； 任意所述第一吸附接口21具有与唯一的气槽22、气道以及吸附孔对应连通。
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