江苏容道社半导体设备科技有限公司张宽宽获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏容道社半导体设备科技有限公司申请的专利一种晶圆生产加工用智能清洗机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223518227U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422886460.0，技术领域涉及：B08B11/00；该实用新型一种晶圆生产加工用智能清洗机构是由张宽宽;符学进;胡二涛;赵生龙;胡根生;张广东设计研发完成，并于2024-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆生产加工用智能清洗机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆生产加工用智能清洗机构，包括箱体，所述箱体的表面两侧边缘均设置有侧架，所述箱体的表面安装有操作台，所述操作台的外部一侧设置有伸缩电机，所述伸缩电机位于一侧侧架的外侧中部下方，两个所述侧架的边缘之间安装有背架，所述背架位于箱体的表面，所述背架的前侧上方安装有移动座结构，所述箱体的表面一角固定安装有蓄水箱，所述移动座结构的下方两侧均安装有滑座，所述滑座的一端分别固定在背架的前壁上。该晶圆生产加工用智能清洗机构可以实现对晶圆的全面喷淋清洗，通过驱动电机的驱动，往复丝杠可以带动上方移动座结构进行整体移动，实现喷淋头的精确定位和移动，从而提高装置对于晶圆清洗的效率。
本实用新型一种晶圆生产加工用智能清洗机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆生产加工用智能清洗机构，包括箱体1、侧架2、操作台3、伸缩电机4、背架5、移动座结构6、蓄水箱7和滑座8，其特征在于，所述箱体1的表面两侧边缘均设置有侧架2，所述箱体1的表面安装有操作台3，所述操作台3的外部一侧设置有伸缩电机4，所述伸缩电机4位于一侧侧架2的外侧中部下方，两个所述侧架2的边缘之间安装有背架5，所述背架5位于箱体1的表面，所述背架5的前侧上方安装有移动座结构6，所述箱体1的表面一角固定安装有蓄水箱7，所述移动座结构6的下方两侧均安装有滑座8，所述滑座8的一端分别固定在背架5的前壁上。
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