湖北江城芯片中试服务有限公司张积获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北江城芯片中试服务有限公司申请的专利阀门定位装置及半导体加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223524471U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422783404.4,技术领域涉及:F16K3/06;该实用新型阀门定位装置及半导体加工设备是由张积设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本阀门定位装置及半导体加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种阀门定位装置及半导体加工设备,该阀门定位装置包括:支架,设置在阀门的开启位置处;检测单元,设置在支架上;检测单元用于确定阀门上的至少三个检测点的位置;至少三个检测点位于以阀门的中心位置为圆心的圆上;处理单元,耦接检测单元;处理单元用于根据至少三个检测点的位置,确定中心位置,并确定中心位置与初始安装位置之间的偏差值。
本实用新型阀门定位装置及半导体加工设备在权利要求书中公布了:1.一种阀门定位装置,其特征在于,包括: 所述阀门表面具有以中心位置为圆心的圆形凸起,至少三个检测点位于所述圆形凸起的边缘处; 支架,设置在所述阀门的开启位置处; 检测单元,设置在所述支架上;所述检测单元用于确定所述阀门上的至少三个检测点的位置;所述至少三个检测点位于以所述阀门的中心位置为圆心的圆上; 处理单元,耦接所述检测单元;所述处理单元用于根据所述至少三个检测点的位置,确定所述中心位置,并确定所述中心位置与初始安装位置之间的偏差值。
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