苏州国微纳半导体设备有限公司陈睿获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州国微纳半导体设备有限公司申请的专利一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223524981U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423281523.6，技术领域涉及：F17D1/08；该实用新型一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统是由陈睿;陈以国;孟晓燕;庞浩楠设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统，包括快速接口，所述快速接口的一端设置有止回阀，所述止回阀的输出端固定连接有进水管路，所述进水管路的一端安装有过滤器，所述过滤器的输出端通过进水管路的一端固定连接有进水分水主管，所述进水分水主管的另一端安装有回水分水主管，所述回水分水主管的出水口安装有流量温度计，所述回水分水主管的出水口安装有手阀，所述进水分水主管的下方设置有支架。本实用新型提供的一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统设计结构通过含铝水路集成和不含铝水路集成使用，两块区域区分铝件和不锈钢件的水路排布，以此来杜绝出现电化学反应，从而提高稳定性及使用寿命。
本实用新型一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统在权利要求书中公布了：1.一种提高使用寿命便于维护的半导体镀膜设备水路系统，包括快速接口1，其特征在于：所述快速接口1的一端设置有止回阀2，所述止回阀2的输出端固定连接有进水管路3，所述进水管路3的一端安装有过滤器5，所述过滤器5的输出端通过进水管路3的一端固定连接有进水分水主管6，所述进水分水主管6的另一端安装有回水分水主管7，所述回水分水主管7的出水口安装有流量温度计8，所述回水分水主管7的出水口安装有手阀9，所述进水分水主管6的下方设置有支架10，所述支架10的底部固定连接有托盘11，所述托盘11的内部安装有漏液传感器12，所述漏液传感器12的感应端固定连接有漏液感应线13。
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