常州铭赛机器人科技股份有限公司姜王敏获国家专利权
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龙图腾网获悉常州铭赛机器人科技股份有限公司申请的专利晶圆胶线检测机及多工位晶圆点胶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223526265U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422658069.5,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型晶圆胶线检测机及多工位晶圆点胶设备是由姜王敏;林翔;曲东升;黄继明;潘龙龙;张安兵设计研发完成,并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆胶线检测机及多工位晶圆点胶设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆胶线检测机及多工位晶圆点胶设备,包括作业平台、三轴运动平台和视觉检测机构,作业平台用于承载晶圆;三轴运动平台设置在作业平台上方,且三轴运动平台具有X、Y、Z三个方向上的运动行程;视觉检测机构设置在三轴运动平台上,以经由三轴运动平台带动视觉检测机构移动至作业平台的上方,且位于上方的视觉检测机构适于对作业平台上所承载的晶圆进行视觉检测,以准确获取晶圆的点胶情况。本实用新型通过对放置平稳的晶圆进行视觉检测,通过将视觉检测机构安装在三轴运动平台上,以此来控制视觉检测机构在X、Y、Z三个方向上的移动,保证视觉检测机构能够对晶圆进行完整有效的视觉检测,以此来准确获取晶圆的点胶情况。
本实用新型晶圆胶线检测机及多工位晶圆点胶设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆胶线检测机,其特征在于,包括: 框架4; 作业平台1,所述作业平台1安装在所述框架4上,并用于承载晶圆; 三轴运动平台2,所述三轴运动平台2设置在所述框架4上,且所述三轴运动平台2具有X、Y、Z三个方向上的运动行程; 视觉检测机构3,所述视觉检测机构3设置在所述三轴运动平台2上,以能够经由所述三轴运动平台2带动所述视觉检测机构3移动至所述作业平台1的上方,且所述视觉检测机构3适于对所述作业平台1上所承载的晶圆点胶状态进行视觉检测。
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