飞束共振科技(郑州)有限公司杨春升获国家专利权
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龙图腾网获悉飞束共振科技(郑州)有限公司申请的专利一种用于微纳抛光机的离子源获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527119U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422928841.0，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型一种用于微纳抛光机的离子源是由杨春升;刘志宣;聂文哲;程东旭;李旭红;宋慈设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于微纳抛光机的离子源在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种用于微纳抛光机的离子源，包括防护壳，防护壳内设置有气体导入通道，气体导入通道处依次设置有潘宁离子枪、加速电极和静电透镜，潘宁离子枪、加速电极和静电透镜均与电源模块相连，电源模块包括施加于潘宁离子枪的电离电压Vd、施加于加速电极的加速电压Va以及施加于静电透镜的聚焦电压Ve，电离电压Vd、加速电压Va和聚焦电压Ve均由可调压电源提供。本实用新型使离子束流的直径和分布可调孔，进而确保同一个加工方案产生同样的加工效果。
本实用新型一种用于微纳抛光机的离子源在权利要求书中公布了：1.一种用于微纳抛光机的离子源，其特征在于：包括防护壳，防护壳内设置有气体导入通道，气体导入通道处依次设置有潘宁离子枪、加速电极和静电透镜，潘宁离子枪、加速电极和静电透镜均与电源模块相连，电源模块包括施加于潘宁离子枪的电离电压Vd、施加于加速电极的加速电压Va以及施加于静电透镜的聚焦电压Ve，电离电压Vd、加速电压Va和聚焦电压Ve均由可调压电源提供。
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