中微半导体设备(上海)股份有限公司范宏宇获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利一种集成式匹配器系统及半导体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527122U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422709197.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种集成式匹配器系统及半导体处理装置是由范宏宇;李宝琛设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种集成式匹配器系统及半导体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种集成式匹配器系统及半导体处理装置，所述集成式匹配器系统包括：箱体，箱体内设有至少两层安装板；其中，匹配器系统中能够产生射频的射频组件设置在一安装板上；匹配器系统中用于控制射频组件的控制组件设置在另一安装板上；隔离板，覆盖在控制组件所在的安装板上，以将射频组件和控制组件进行电磁隔离。本实用新型能够减少射频损耗和时间延迟，优化刻蚀过程的控制和刻蚀效果。
本实用新型一种集成式匹配器系统及半导体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种集成式匹配器系统，其特征在于，包括： 箱体，所述箱体内设有至少两层安装板； 其中，所述匹配器系统中能够产生射频的射频组件设置在一所述安装板上； 所述匹配器系统中用于控制所述射频组件的控制组件设置在另一所述安装板上； 隔离板，覆盖在所述控制组件所在的所述安装板上，以将所述射频组件和所述控制组件进行电磁隔离。
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