芯恩(青岛)集成电路有限公司王浩浩获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利喷淋装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527131U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422772649.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型喷淋装置及半导体设备是由王浩浩;杨伟霞设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷淋装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种喷淋装置及半导体设备，包括：喷淋腔体、若干个分流板以及驱动机构，喷淋腔体内部中空且包括位于喷淋腔体底部的喷淋板，喷淋板上间隔地设有若干个喷淋孔。若干个分流板分别可转动地设于若干个喷淋孔内，分流板与喷淋孔一一对应设置，分流板与喷淋孔相适配。驱动机构与若干个分流板驱动连接且用于驱动分流板的转动。本实用新型在每个喷淋孔内可转动地安装分流板。通过驱动机构驱动分流板转动，可将分流板转动至竖直状态即完全打开喷淋孔、水平状态即闭合喷淋孔或者不同角度的倾斜状态即不同程度的部分遮挡喷淋孔，从而可以精准地控制调节从喷淋孔喷出的流体的流量和或方向。
本实用新型喷淋装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋装置，其特征在于，包括： 喷淋腔体，内部中空且包括位于所述喷淋腔体底部的喷淋板，所述喷淋板上间隔地设有若干个喷淋孔； 若干个分流板，分别可转动地设于若干个所述喷淋孔内，所述分流板与所述喷淋孔一一对应设置，所述分流板与所述喷淋孔相适配； 驱动机构，与若干个所述分流板驱动连接且用于驱动所述分流板的转动，以打开、闭合以及部分遮挡所述喷淋孔，从而调节从所述喷淋孔喷出的流体的流量和或方向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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