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龙图腾网获悉中山市易天自动化设备有限公司申请的专利一种晶圆UV膜贴附装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527132U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422780311.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆UV膜贴附装置是由高军鹏;陈涛;朱远福设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆UV膜贴附装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种晶圆UV膜贴附装置，包括第一胶辊、第二胶辊、第三胶辊、第四胶辊、钢带、分离按压组件、真空腔室和按压气缸，钢带一端固定于第一胶辊，另一端经过第四胶辊和第三胶辊外侧后与第二胶辊固定连接，第二胶辊用于张紧和放松钢带；第四胶辊的高度小于第三胶辊高度，第三胶辊往复压合钢带，以使UV膜与晶圆紧密贴合；第四胶辊设有粘合层，分离按压组件按压钢带，钢带倾斜并与第四胶辊粘合，第四胶辊带动钢带与UV膜分离。本实用新型提出钢带设于第三胶辊和第四胶辊外侧，钢带压合后不会马上分离，第三胶辊往复按压钢带，有效提高贴附效果；本实用新型提出真空腔室提供真空环境，按压气缸对UV膜施加向下的压力，更进一步提高贴附效果。

本实用新型一种晶圆UV膜贴附装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆UV膜贴附装置，其特征在于，包括第一胶辊、第二胶辊、第三胶辊、第四胶辊、钢带和支撑板；所述第三胶辊活动设置于所述第一胶辊和所述第二胶辊之间，所述第四胶辊位于所述第一胶辊和第三胶辊之间；所述第一胶辊固设于所述支撑板一侧，并与所述第二胶辊平行；所述钢带一端固设于所述第一胶辊，另一端依次经过第四胶辊和第三胶辊外侧，并固设于所述第二胶辊；所述第二胶辊可移动设置于所述支撑板另一侧，并用于将所述钢带张紧或放松；所述第四胶辊外侧设有粘合层，所述粘合层用于粘合钢带，以使钢带与所述UV膜分离； 还包括分离按压组件，所述分离按压组件固设于所述第三胶辊侧方，并用于辅助钢带与UV膜分离； 所述第三胶辊具有压合状态和分离状态； 当处于所述压合状态时，所述第二胶辊往远离所述第一胶辊的方向位移，所述第三胶辊压合所述钢带，并沿水平方向往复滚动，以使UV膜与晶圆紧密贴附； 当处于所述分离状态时，所述第三胶辊远离所述钢带，所述分离按压组件按压钢带，以使所述第四胶辊与所述钢带接触，所述分离按压组件远离所述钢带，所述第四胶辊带动所述钢带远离所述UV膜。

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