南京屹立芯创半导体科技有限公司张景南获国家专利权
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龙图腾网获悉南京屹立芯创半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆卡盘尺寸识别装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527138U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422979689.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆卡盘尺寸识别装置是由张景南;陈明展设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆卡盘尺寸识别装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆卡盘尺寸识别装置，包括底板、气囊环、一对微动开关和卡盘，所述气囊环嵌入设置在底板内部，所述卡盘可拆卸的设置在底板内部，且位于气囊环下方，一对所述微动开关分别设置在底板的顶部和底部，分别对气囊环和卡盘进行尺寸识别检测，本实用新型通过设置一对微动开关，在上腔体和下腔体中检测对应的晶圆尺寸和气囊环，根据检测结果更换晶圆设置的程序，相较于传统的先更换配件再切换程序，操作起来可以避免人为出错，进而提高设备寿命和产品良率，对接自动化设备也可以提高生产效率，且本实用新型底板上通过将卡盘固定在滑动夹块上，通过圆周阵列设置的个夹持机构实现卡盘的稳固设置。
本实用新型一种晶圆卡盘尺寸识别装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆卡盘尺寸识别装置，其特征在于：包括底板1、气囊环4、一对微动开关5和卡盘9，所述气囊环4嵌入设置在底板1内部，所述卡盘9可拆卸的设置在底板1内部，且位于气囊环4下方，一对所述微动开关5分别设置在底板1的顶部和底部，分别对气囊环4和卡盘9进行尺寸识别检测。
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