苏州美图半导体技术有限公司王云翔获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州美图半导体技术有限公司申请的专利基于晶圆键合的间隔装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527139U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423015985.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型基于晶圆键合的间隔装置是由王云翔;马冬月;段仲伟;姚园设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于晶圆键合的间隔装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种基于晶圆键合的间隔装置，属于半导体制造的技术领域。它包括第一键合晶圆，固定于清洗设备的卡槽内；多个间隔机构，均匀分布在第一键合晶圆的四周；间隔机构包括固定底座、旋转轴、连接杆和垫片组件，旋转轴转动带动连接杆，并改变垫片组件位置；垫片组件包括垫片固定轴和垫片本体，垫片本体为伞状结构并设置在第一键合晶圆的上方，且与第一键合晶圆上表面之间不接触；第二键合晶圆，放置于垫片本体的上方，第二键合晶圆的下表面与垫片本体的伞状斜面之间存在线接触面，以减少污染。本实用新型使两片晶圆在兆声清洗机清洗后，实现原位直接键合，极大减少设备的占地空间，同时减少了垫片与晶圆的接触面积，降低污染可能性。
本实用新型基于晶圆键合的间隔装置在权利要求书中公布了：1.一种基于晶圆键合的间隔装置，其特征在于，包括： 第一键合晶圆，固定于清洗设备的卡槽内； 多个间隔机构，均匀分布在所述第一键合晶圆的四周； 每个所述的间隔机构均包括固定底座、旋转轴、连接杆和垫片组件，旋转轴的转动带动连接杆，垫片组件随着连接杆转动而改变位置； 所述垫片组件，包括垫片固定轴和垫片本体，所述垫片本体为伞状结构，垫片本体设置在第一键合晶圆的上方，且垫片本体的底面与第一键合晶圆上表面之间不接触，以防止污染； 第二键合晶圆，放置于所述垫片本体的上方，第二键合晶圆的下表面与垫片本体的伞状斜面之间存在线接触面，以减少污染。
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