爱利彼半导体设备(上海)有限公司王应斌获国家专利权
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龙图腾网获悉爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种半导体用超声波清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223527142U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-11-07发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423095827.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种半导体用超声波清洗装置是由王应斌;王拯设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体用超声波清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体用超声波清洗装置，涉及超声波清洗技术领域，包括箱体、超声波清洗槽、溢流挡板和溢流堰板，溢流堰板与溢流挡板之间位于箱体的顶部形成有溢流槽，箱体的内壁开设有分隔仓，分隔仓内等间距设置有加强隔板和超声波振板，箱体的顶端对应分隔仓处安装有分隔仓盖板，本设计将不锈钢超声波振板隐藏在超声波清洗槽体内部，通过超声波空化作用的产生的冲击力将物体表面的污物层剥离，能够有效去除工件表面微尘粒子和杂质金属离子等，而且清洗速度非常快，大大提高工作效率，其次采取NPP材质，在清洗过程中不会对工件造成任何机械损伤和化学腐蚀，因此适合半导体零部件的精密清洗，纯物理清洗方式，不会产生任何环境污染。
本实用新型一种半导体用超声波清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体用超声波清洗装置，包括箱体1以及箱体1底部安装的固定座，其特征在于，所述箱体1上设置有超声波清洗槽2，且箱体1顶端外侧安装有呈矩形设置的溢流挡板4，所述超声波清洗槽2的顶端边缘处安装有溢流堰板3，所述溢流堰板3为凵形结构，其两端与溢流挡板4的一个面相固定，所述溢流堰板3与溢流挡板4之间位于箱体1的顶部形成有溢流槽41； 所述箱体1的内壁开设有分隔仓5，所述分隔仓5内等间距设置有多个加强隔板51，所述分隔仓5的内部位于每两个所述加强隔板51之间通过超声波振板固定架56安装有超声波振板52，所述箱体1的顶端对应分隔仓5处安装有分隔仓盖板53。
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